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(주)연진코퍼레이션 시험분석 서비스 : OLED 공정장비

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OLED 소자제작 및 패키징 장비
  (OLED Deposition System)

OLED소자를 제작하는 질소분위기의 글로브 박스에서 패키징하는 장비

- 유기물 챔버, 금속챔버, 컨트롤 패널, 글로브박스로 구성.
- 유기물챔버에는 5개의 증발원, 금속챔버에는 3개의 증발원 있음.
- 글로브박스는 수분, 산소를 1ppm 이하로 유지시킴.

- OLED소자 제작 및 패키징
 


박막스퍼터링시스템 (Thin Film Sputtering System)

아크릴 수지 및 기타 폴리머에 코팅이 가능하도록 저온트랩을 설치 막질의 성능 향상을 위한 Ion Beam Gun이 장착

- 금속뿐 아니라 각종 금속 산화물들의 박막 증착이 가능한 장비


플라즈마처리기 (Plasma Ashing System)

저 진공상태에서 입력된 가스의 플라즈마를 RF파워로 생성

- Pumping speed : 8m Torr(10분 이내)
- RF generator : 13.56MHZ ± 0.005%
- Plasma evolution gas : O2, N2, air

-기판의 전처리 
 


이온코터 (Ion Coater)

플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성시키는 장비  

- 도금조, 전극
- 1ph 220V / 60Hz : DC 15V 20A
- Pulse time : 0.1 ~ 100ms
- On/off pulse

- 백금, 금속박막의 코팅



Wet Station System

각종 소자 공정시 필요한 세척 또는 식각 공정을 하기 위한 배스 각종
Etch 공정, Strip & Develop 공정 수행 Wafer, Glass cle
 

 

 

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