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HiPIMS

High Power Impulse Magnetron Sputtering (nano4ENERGY, Madrid, Spain)

nano4ENERGY VIESCA HiPIMS Power Supply

고전력 임펄스 마그네트론 스퍼터링 파워 서플라이

nano4ENERGY HiPIMS

HiPIMS power supplies to obtain high quality coatings.

 

Nano4Energy는 플라즈마 기술 발전에 대한 헌신 과정에서 코팅 성능과 제조 생산성을 획기적으로 향상시켜 왔습니다. HiPIMS 파워 서플라이 기술의 혁신을 통해 이제 모든 공정 단계를 정밀하게 조정하여 핵심 파라미터를 최적화할 수 있게 되었습니다. 이러한 전문성은 현재 시중에 출시된 수백 가지 산업용 시스템에 적용되어 있습니다.

Nano4Energy사는 Viesca HiPIMS와의 파트너십을 맺고 최첨단 고신뢰성 산업용 HiPIMS 전원 공급 장치를 생산하고 있습니다.

당사는 고객과 긴밀히 협력하여 최신 박막 코팅 기술을 일상적인 생산에 접목하고 있습니다. 공정컨셉과 코팅 개발부터 시스템 설계 및 대규모 스케일의 구현에 이르기까지 전 과정에 걸쳐 지원함으로써 완전 자동화된 대량 생산을 가능하게 합니다.

차세대 Bipolar HiPIMS 기술이 이제 모든 파워 서플라이에 적용되어 평균 6 ~ 20kW의 전력 범위를 제공합니다.

최근 몇 년 동안, positive voltage의 반전이 코팅 성능에 상당한 영향을 미친다는 사실을 확인했습니다. 이는 low-friction DLC coating, 경질 금속 질화물, 금속 산화물과 같은 분야를 통해 입증되었습니다. 지속 시간(duration)과 진폭(amplitude) 모두에서 positive voltage 반전을 완벽하게 제어할 수 있는 이 새로운 phase는 특정 분야에 맞게 positive pulse 효과를 더욱 정밀하게 조정할 수 있도록 해줍니다.

 

N4E HiPIMS specifications

 

Power Supply Features:

  • Integrated DC charging unit
  • Average power options: 6 kW, 10 kW, and 20 kW
  • Regulation modes: Voltage / Power / Current

  • Cooling system: Water and air
  • Nominal input voltage: 380 Vac to 480 Vac
  • Arc control response time: <3 µs
  • Maximum output voltage: -1200 V / +400 V
  • Certification: CE Marked

 

Interface & Communication:

  • Standard: USB Type B with standalone software included 
  • Optional: Profibus, Ethernet IP, EtherCAT

 

Power Supply Features (PS):

  • HiPIMS-PS
  • DC-PS: Supports DC- (magnetron) or DC+ (anode) modes
  • Synchronized bias options: HiPIMS Bias / DC-Bias
  • Advanced capabilities: HiPIMS AC, dual magnetron compatibility
  • HiPlus technology: Adjustable voltage reversal

 

Bias HiPIMS operation (DC (-)) or sync


 

 

Bias Features:

  • DC- Mode: -40 V to -1200 V
  • Current:

    • Continuous current (IDC): Up to 50 A
    • Peak current (IPEAK): Up to 1000 A
  • HiPIMS Synchronized Mode:

    • Voltage: -40 V to -1200 V
    • Duty cycle: Up to 50%
    • Delay time: 1 µs to 100 µs

HIPIMS operation : Bipolar HiPIMS


 

 

Bipolar HiPIMS Features:

  • Positive Voltage (Vpositive): Up to +400 V
  • Positive Power (Ppositive): Up to 1 kW
  • Positive Peak Current (Ipeak, positive): Up to 80 A
  • Delay Time (NEG-POS): 1 µs to 100 µs
  • Duty Cycle: Up to 50%

 

HIPIMS operation : Dual Bipolar HiPIMS

 

N4E HiPIMS Power Supply Rental Services

HiPIMS Power supply를 구매하기 전 렌탈 서비스를 이용하실 수도 있습니다. 저희 HiPIMS 파워 서플라이 렌탈 프로그램은 연구 개발 프로젝트, 시제품 생산 또는 임시 제조 요구 사항에 맞는 유연하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. Synchronized bias, 가변 전압 반전(HiPlus), bipolar HiPIMS 등 고급 기능을 갖춘 모델을 포함하여 최첨단 HiPIMS 파워 서플라이의 이용이 가능합니다. 



 

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