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Magnetron Sputtering Systems from Moorfield Nanotechnology

마그네트론 증착 시 자기장이 플라즈마를 타겟 물질 표면에 집중시켜, 플라즈마를 통해 이동하는 물질을 방출함으로써, 기판을 코팅합니다. Sputtering power를 적절하게 선정하면, 다양한 많은 재료의 증착에 활용할 수 있습니다.

Magnetron sputtering은 Moorfield의 핵심 기술입니다. 

In magnetron sputtering, magnetic fields focus plasmas onto target material surfaces, ejecting material that moves through the plasma to coat substrates. Suitable for depositing most materials (with correct choice of sputtering power supply). 
Magnetron sputtering is a core speciality of Moorfield, with most of our systems offering this technique.

 

Moorfield systems for Magnetron sputtering:

 

MiniLab

고급 연구개발 및 파일럿 생산을 위한 탄력적인 모듈형 PVD 시스템. MiniLab은 Moorfield의 주력 제품군입니다. 본 장비는 고객 요구 사항에 부응하도록 커스터마이즈 가능성을 염두에 둔 제품입니다.
MiniLab의 Key는 컴팩트하면서도 열증착, 저온증착, E-beam 증착, 마그네트론 스퍼터링 모두 사용됩니다. 
The MiniLab range from Moorfield: Flexible, modular PVD systems for high-quality R&D and pilot-scale production. The MiniLab range is Moorfield’s flagship range of products. The tools are highly customisable and highly adaptable to suit your needs. Read more

 

nanoPVD

컴팩트한 벤치탑 패키지의 고성능, 고진공 PVD 시스템.
다양한 R&D 박막 증착 애플리케이션을 위한 우수하고 효율적인 성능. 
nanoPVD 시스템 설계는 Moorfield의 주력 제품인 MiniLab으로 부터 입증된 R&D 박막 시스템 기술을 사용합니다. nanoPVD는 magnetron sputtering과 thermal evaporation 증착 기술을 모두 다루는 여러 모델로 구성됩니다.
A high-performance, high-vacuum PVD system in a compact package for benchtop location. Superior, efficient performance for a multitude of R&D thin-film deposition applications. nanoPVD system design is derived from proven R&D thin-film system technology such as that used in our flagship MiniLab range. The nanoPVD range now consists of multiple models covering both magnetron sputtering and thermal evaporation deposition techniques.  Read more

 

nanoEM

nanoEM 시스템은 완벽하게 연구 개발 기능을 full로 갖춘 최초의 전자 현미경 코팅 장비입니다. TEM/SEM 샘플의 기본적인 처리가 간편하고 코팅 속도가 빠릅니다. 또한 high-end 구성 요소와 기존 타겟과 호환성이 좋아 무한한 가능성을 갖는 기기입니다.
The nanoEM system is the first electron microscopy coating tool with a full, research-grade feature set. Ease-of-use and coating speed are built in for routine preparation of TEM/SEM samples (e.g., with sputtering of gold and/or carbon), but with high-end components and compatibility with conventional targets, the possibilities are endless. Read more

 

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