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EVAPORATION SYSTEMS from AJA International, USA

AJA International의 ATC-E (E-Beam Evaporation) 시스템과 ATC-T (Thermal Evaporation) 시스템은 R&D 규모의 박막 증착을 위해 설계된 고도로 진화된 HV, UHV 코팅 장비입니다. 이들 시스템은 로드 락 (load-lock), 이온 밀링 / 이온 보조 소스, 가열 / 냉각 기판 홀더, QCM 증착 제어 / 컴퓨터 컨트롤, AJA의 고유한 수냉식 300 Amp 열 증착 소스가 특징입니다.

ATC-E SERIES E-BEAM EVAPORATION SYSTEMS

AJA International사의 ATC-E Series Electron Beam Evaporation System은 ATC-E 및 ATC Orion-8E 원통형, UHV 스타일 챔버, ATC 2030 및 ATC 2036 HV 스타일 박스 코터 버전으로 제공됩니다. AJA International의 이러한 physical vapor deposition 시스템은 최적의 성능을 제공하고 최고 품질의 구성 요소를 활용하면서 탁월한 가치를 제시합니다. 본 제품군은 고도로 진화된 ATC & ATC Orion 스퍼터링 장비로부터 수 많은 디자인 특징과 공통적인 부품을 계승하여, 싱글 또는 멀티-포켓 선형 및 회전형 전자빔 소스, 열 증발 소스, 이온 / 플라즈마 소스, Knudsen 셀, 유기물 용 저온 증발 셀, Radak 소스 및 마그네트론 스퍼터 소스를 장착 할 수 있도록 했습다. 또한 이러한 시스템은 로드 락 (load lock), QCM 모니터링 및 제어, 가열 또는 냉각 기판 홀더, planetaries, 다양한 펌핑 패키지 및 자동 제어와 함께 사용할 수 있습니다.

 

E-Beam Evaporation Systems
 
  • Box style and cylindrical chambers 
  • HV & UHV versions available 
  • Load lock & cassette options 
  • Rotary or linear e-beam sources
  • Integrated hoist or hinged door
  • Single, multi-layer or co-evaporation
  • Linear e-gun slide available
  • Planetary, heated and cooled substrate holders 
  • Configured for your application

MORE DETAILS 

 

ATC-T SERIES THERMAL EVAPORATION SYSTEMS

AJA International사의 ATC-T Series Thermal Evaporation System은 최적의 성능을 제공하고 최고 품질의 구성 요소를 활용하면서 탁월한 가치를 제시하는 박막 증착 장비입니다. 본 제품은 원통형 (UHV) 및 박스 스타일 (HV) 구성으로 제공됩니다. AJA International의 이러한 시스템은 고도로 진화된 ATC 및 ATC Orion 스퍼터링 장비의 수 많은 디자인 특징과 공통적인 부품을 계승하며 AJA International의 고유한 300 Amp, 수냉식 열 증발 소스, Knudsen 셀, 유기 재료 용 저온 증발 셀 및 Luxel Radak을 장착 할 수 있습니다. 더욱이. 이러한 장비에는 AJA 마그네트론 스퍼터 소스, 로드 락 (load lock), QCM 모니터링 및 제어, 가열 또는 냉각 기판 홀더, planetary, 다양한 펌핑 패키지 및 자동 제어가 포함될 수 있습니다.

 
 
Thermal Evaporation Systems
  • Box style or cylindrical chambers 
  • HV & UHV versions available 
  • Thermal source array on slide available
  • Load lock & cassette options  
  • Water cooled shielding as required
  • Integrated hoist or hinged door 
  • Configured for your application

 

 

THIN FILM EVAPORATION TUTORIALS

What is Thermal Evaporation?

 

Thermal Evaporation is one of the simplest of the Physical Vapor Deposition (PVD) techniques.  Basically, material is heated in a vacuum chamber until its surface atoms have sufficient energy to leave the surface.  At this point they will traverse the vacuum chamber, at thermal energy (less than 1 eV), and coat a substrate positioned above the evaporating material (average working distances are 200 mm to 1 meter).  Read more. 

What is Electron Beam (E-Beam) Evaporation?

 

E-Beam evaporation is a physical vapor deposition (PVD) technique whereby an intense, electron beam is generated from a filament and steered via electric and magnetic fields to strike source material (e.g. pellets of Au) and vaporize it within a vacuum environment. At some point as the source material is heated via this energy transfer its surface atoms will have sufficient energy to leave the surface.  At this point they will traverse the vacuum chamber, at thermal energy (less than 1 eV), and can be used to coat a substrate positioned above the evaporating material.  Average working distances are 300 mm to 1 meter. Read more.