VACUUM DEPOSITION SYSTEMS
당사 (주)연진에스텍은 컴팩트한 진공증착장비에서 부터 고성능의 생산/파일럿/R&D 형의 HV/UHV 진공증착장비와 PVD, CVD, Soft-etching system, Evaporation System, Multi-chamber system, 진공열처리 시스템, 글러브박스 통합형 진공증착시스템, ALD (Atomic Layer Deposition), PLD (Pulsed Laser Deposition), MBE (Molecular Beam Epitaxy) 시스템을 공급합니다.
Nanoparticle deposition source
- Nanoparticle coating source
- Ultra-pure nanoparticle
- Triple-head source for compound nanoparticle
- QNF Mass Filter
- Advanced nanoparticle generation
- From battery electrode to CNT growth
Thin Film Deposition System
Thin Film Deposition System - HEX and HEX-L
HEX-L Cluster System
- Thin Film Deposition Deposition Sources
- Sample stages
- Thin Film Deposition Components and Software
- HEX Sereis Glovebox Integration
Atomic Layer Deposition ALD
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/fa/c7/20220515184700175aef51de68a63bac08fb6bfb02e3af237b011f.png)
Thermal ALD
Plasma ALD
Ozone generator
- Standard recipes pre-loaded
- Exact mix of recipes TBD
- Process development support
Magnetron Sputtering system
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/8a/9b/2022020119074124ce62b8656a2d9e79b362c4c89c827411e5813c.jpg)
- Upto 11” diameter substrate
- Flexible, modular PVD systems for high-quality R&D and pilot-scale production.
- Moorfield’s flagship range of products.
- Highly customisable and highly adaptable
Evaporation system
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/8a/9b/2022020119074124ce62b8656a2d9e79b362c4c89c827411e5813c.jpg)
E-beam Evaporation System - MiniLab 090, MiniLab 080, MiniLab 060
Low Temprerature Evaporation System - MiniLab, nanoPVD-T15A
Combined ALD + PVD System
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/60/ab/20220709232311ea6113d310e4cb274f293386b1782b8901b0d111.png)
PVD Overview
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/27/b1/20220204172112bcf9330167bbf0199f28338a6bbf5d042f97444b.jpg)
Molecular Beam Epitaxy MBE
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/6f/67/20220710212759570420b849446025abc2cbe5715b4c8f5b751876.jpg)
MBE + Evaporation source, Effusion cell, Electron beam evaporator, Sublimation source, Gas source
Pulsed Laser Deposition PLD
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/aa/b2/202206242317336d863cb2747f41187ad6f93cc02416b70ad2fe73.jpg)
Chemical Vapour Deposition
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/f4/a5/202202041626229c410a0f6283f3fb455da5ba291431d0ed99191e.jpg)
nanoCVD-8N : High-throughput Carbon nanotube 합성을 위한 소형 턴키 방식의 scale-up 가능한 입증된 CVD 시스템.
nanoCVD-8G : High-quality Graphene을 빠르게 합성하는 데 사용되는 on-demand 벤치탑 그래핀 CVD 시스템. 오염과 운영 비용을 줄이고 조건 제어를 강화하기 위한 완전 자동화된 콜드 월(cold-wall) 기술 적용.
Vacuum Annealing System
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/73/8f/20220201202800a02b2191348470609a961ce6f2b57589e38e1a18.jpg)
Moorfield Nanotechnology는 낮은 압력과 불활성 및 반응성 분위기에서 고온의 시료 처리를 위한 완벽한 열처리 시스템과 맞춤형 컴포넌트를 생산합니다. Moorfield의 진공 어닐링 시스템은 특정 분위기에서 최대 1000°C까지 기재의 온도를 정밀하게 가열, 제어하는 완벽한 시스템으로써, 용도에 따라 다양한 히팅 기술이 사용되고, 히팅 스테이지 및 파워 서플라이를 포함한 독립형 컴포넌트가 제공됩니다.
ANNEAL - Moorfield의 vacuum annealing system은 특정 분위기에서 2D 재료와 웨이퍼의 열처리에 최적화되었습니다. 최대 1000 °C의 고온진공 어닐링, 정밀한 gas / pressure control - all in a benchtop package.
Quartz lamp, Carbon-carbon composite (CCC), SiC-coated graphite, Heating control resolution ±1 °C.
Soft-etching System
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/09/87/202202012006349244e4abe48f510df5870a046504ac815ceff966.jpg)
소프트 에칭 기술은 기재와 디바이스 선정에 필요한 미세한 제어능력을 제공함으로써 세계 최고의 2D 재료 연구를 돕는 Moorfield의 독특한 기술입니다. "Soft-etching technology from Moorfield is unique in providing the fine control needed for substrate and device preparation in world-leading 2D materials research."
MiniLab - 고급 연구개발 및 파일럿 생산을 위한 탄력적인 모듈형 PVD 시스템.
nanoETCH - nanoETCH는 Moorfield의 독특한 소프트 에칭 기술을 구현하는 편리한 벤치탑 패키지로써, 그래핀과 2D 재료 연구를 위한 중요한 미세 에칭 성능을 제공합니다.
nanoEM - 연구 개발의 완벽한 기능을 세트로 갖춘 최초의 전자 현미경 코팅 장비 (electron microscopy coating tool).
Plasma Treatment System
Plasma Treatment System
Plasma Treatment System
Glovebox integrated system
![](https://www.yeonjin.com/storage/app/public/media/public/media_library/13/bc/20220201212448182e121ba7d05b9f7af74e3efe1ecb8eeb712e1b.jpg)
Physical vapour deposition (PVD)과 etching, annealing processes를 위한 glovebox-compatible MiniLab system
- MiniLab 090 : 대기 노출에 민감한 어플리케이션을 위한 글로브박스. 깊이 있는 챔버는 고성능 증발에 이상적이지만, 마그네트론 스퍼터링에도 사용할 수 있습니다. "Glovebox-compatible for atmosphere-sensitive applications. Tall chambers are ideal for high-performance evaporation, but magnetron sputtering is also available."
- MiniLab 026 : 접근이 쉬운 ‘clam-shell’ chamber가 쓰이는 컴팩트한 floor standing 진공 증착장비. 증착 및 스퍼터링 기술을 통한 금속, 유전체 및 유기물 증착에 적합합니다. "Compact floor standing vacuum evaporators with easy-access ‘clam-shell’ chambers. Suitable for metal, dielectric and organics deposition via evaporation and sputtering techniques."