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Molecular Beam Epitaxy, MBE System

MBE from Dr. Eberl MBE-Komponenten, Germany

Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

 

Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH is an independent, family-run enterprise, focusing on long-term partnership, constant development and stability.

 

 

Dr. Eberl MBE-Kompontenen GmbH는 MBE와 표면 과학 및 다양한 UHV 어플리케이션의 박막 증착 장비를 제조하는 전문기업입니다. 고객의 요구사항에 부응하고 커스터마이즈가 가능한 evaporation source와 effusion cell, e-beam evaporator, sublimation source, gas source등 다양한 장비를 공급하고 있습니다.
약 30년 동안 Dr. Eberl MBE-Kompontenen 사는 전 세계 2000 곳 이상의 고객에게 effusion cell과 evaporation source, 시스템과 서비스를 서비스를 제공해 왔습니다.

 

 


Dual MBE system with central substrate handling module. It allows the combination of complementary materials, e.g., SiGe MBE and III-V MBE layer growth. Substrate sizes of 4“ or up to  6“ or 7x 2“ are available.

 


OCTOPLUS 600 MBE system for the growth of high quality III-V, II/VI or other material heterostructures on multi wafer 3x3 inch, or single wafer 6 inch substrate.

 


OCTOPLUS 500 III-V MBE system for high quality GaAs / AlGaAs / InGaAs layer growth 
 

 

 

Aplications

 

 

 


 

 


 

 


 

 


 

 

 

 


 

 


 

 

 

 

 

 

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