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Home > 진공증착시스템 (Vaccum Decposition System) > AJA 진공증착시스템 카테고리별 디테일

Sputtering system

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ATC B-SERIES BATCH COATING SYSTEMS AJA International사의 ATC-B Series Batch Coating System은 여러 개의 기판을 소규모로 생산 가능하도록 제작되는 맞춤형 스퍼터링 증착 시스템
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ATC FLAGSHIP SERIES SPUTTERING SYSTEMS AJA International사의 ATC Flagship Series 스퍼터링 시스템은 대부분의 요구사항을 충족하도록 다양한 구성으로 구축되는 다목적 PVD 코팅 장비입니다. 본
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ATC ORION SERIES SPUTTERING SYSTEMS AJA International사의 ATC Orion Series 스퍼터링 시스템은 인기있는 ATC Flagship Series PVD (Physical Vapor Depositi
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Ion Milling System

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ATC-2020-IM 이온밀링시스템 (ION MILLING SYSTEM) ATC-2020-IM (Internal view) ATC-2020-IM ION MILLING SYSTEM에는 100mm Ø 기판의 균일한 밀링을 위해 배치된 14cm 격자형 RF
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ATC-2036-IM 이온밀링시스템 (ION MILLING SYSTEM) ATC-2036-IM with Motorized UNO Series Substrate Holder on Slide Mechanism 본 제품에는 150mm Ø 기판의 균일한 밀링
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ATC-1800-IM-R 이온밀링시스템 (ION MILLING SYSTEM) 본 제품은 100mm Ø 기판의 균일하고 반응성있는 밀링을 위해 14cm 그리드형 RF 이온 소스를 사용. 2000 l/s 터보 펌프, 컴퓨터 컨트롤, retractable far
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Evaporation System

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ATC-T SERIES THERMAL EVAPORATION SYSTEMS ATC-T Series Thermal Evaporation System은 최적의 성능을 제공하고 최고 품질의 구성 요소를 활용하면서 탁월한 가치를 제시하는 박막 증착 장비입니다.
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ATC-E SERIES E-BEAM EVAPORATION SYSTEMS ATC-E Series Electron Beam Evaporation System은 ATC-E 및 ATC Orion-8E 원통형, UHV 스타일 챔버, ATC 2030 및 ATC
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Multi-chamber system

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ATC UHV Dual Chambers In-situ tilt를 가진 4개의 A320-XP 2 인치 UHV 스퍼터 소스, 2개의 4- 포켓 15cc UHV linear e-gun, RF 이온 소스, 1200 l/s 터보
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ATC Dual Chamber with Common Cassette Load-lock 본 듀얼 스퍼터링 시스템은 "vacuum suitcase"과 호환되는 6 position cassette가 있는 common load-lock으로 연결됩니다. 왼쪽 챔버에는 7개의
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ATC Dual Chamber - Sputtering / Pulsed Laser Deposition (PLD) 오른쪽 챔버는 풀 버전의 ATC 2200으로써, in-situ tilt가 있는 6 UHV sputter source와 RF 바이어스, Z 모션 및 azimuthal rotation
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Hybrid system

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ATC -MC-HY Multi-Chamber Hybrid Deposition Tool with UHV Transfer Tube & Glovebox Interface 2개의 하이브리드 프로세스 챔버가 결합되어 있으며, 각각 e-beam과 thermal evaporation, 공 초점 마그네트론 스퍼터링 (confocal magnetron sp
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ATC 1800-HY Hybrid System 공초점 스퍼터링(confocal sputtering), 6 pocket linear e-beam source, 이온 밀링 (ion milling) 및 짧은 working dista
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ATC 2030-HY Hybrid System HV 박스 챔버는 최대 6 인치 직경의 기판을 위한 터보 펌프 진공로드 락과 모든 스퍼터링 및 히터 기능을 수행하고 e- beam 작동을 위한 Inficon 증착 컨트롤러와 수활하
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R&D 마그네트론 스퍼터 소스 (HV and UHV)

Production 마그네트론 스퍼터 소스 (HV)

기판 홀더

스퍼터 타겟 및 증발 재료

스터퍼 파워 서플라이

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