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Surface Techniques

Patterning and Surface Texturing Systems, Vacuum Deposition System, Adhesion Testing Equipment

TYPICAL MULTI-TECHNIQUE SYSTEM CONFIGURATIONS ATC UHV Dual Chambers In-situ tilt를 가진 4개의 A320-XP 2 인치 UHV 스퍼터 소스, 2개의 4- 포켓 15cc UHV linear e-gun, RF 이온 소스, 1200 l/s 터보
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