Single Source Desktop PVD Coater

 

 

 

 

 

 

HEX-Mini는 박막 생성을 위한 Korvus Technology의 소형 입문용 PVD시스템입니다. 광학 코팅, SEM/TEM용 sample 및 electric contact 등에 활용됩니다. 탁상형인 HEX-Mini는 DC 2" 스퍼터링 소스 또는 thermal evaporation  소스로 구성될 수 있습니다. 사용자의 재료, 원하는 수율, 균일성 및 샘플 감도에 따라 증착 방식이 선택됩니다.

빠른 설정을 위한 "플러그 앤 플레이" 증착 시스템인 HEX-Mini는 재료 과학과 물리학 및 현미경 연구 시 성능 저하 없는 소형의 사용자 친화적인 시스템으로 고품질의 코팅을 구현합니다. 

HEX Mini FAQs

What are the applications of the HEX Mini?

HEX Mini 응용사례:

• SEM sample preparation (Sputtering & Carbon Evaporation)
• TEM sample preparation (Carbon Evaporation)
• X-Ray Microanalysis sample preparation (Carbon Evaporation)
• High resolution sample preparation
• Semiconductors
• Geology
• Forensics
• Material science
• Medicine
• Life science

What is the difference between the Mini S and Mini T?

두 모델의 유일한 차이점으로 하나는 DC 마그네트론 소스를 사용하고, 다른 하나는 thermal evaporation 소스를 사용한합니다. 다른 모든 면에서는 두 모델이 완전히 동일합니다.

Can the HEX Mini be used for SEM coating?

HEX Mini는 SEM 코팅을 포함한 모든 샘플링에 사용할 수 있으며 고품질 필름을 제작할 수 있습니다. 그럼에도 불구하고 HEX Mini는 훨씬 높은 사양을 갖추고 있어 SEM 전용 코팅 뿐만 아니라, 더 까다로운 박막 증착용으로도 사용할 수 있습니다.

What is the key difference between the benchtop HEX and the HEX Mini?

HEX 시리즈는  벤치탑 PVD 시스템이지만 Mini보다 더 큰 전자 랙을 갖추고 있습니다. HEX Mini는 모든 것이 단일 프레임과 챔버에 통합되어 있습니다. HEX Mini는 최대 5cm(2")까지의 샘플의 증착에 사용할 수 있으며 단일 소스만 사용합니다. HEX는 최대 3개의 소스와 QCM을 장착할 수 있습니다.