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Announcement

  미국 AJA International 사는 rotating substrate와  in-situ tilting magnetron sputter head를 가진 최초의 상업용 공 초점 스퍼터링 장비인 ATC 시리즈 스퍼터링 시스템을 개발한지 30년이 되었습니다. 이 혁신적인 개발로 싱글, 멀티 레이어 및 합금의 매우 균일하고 제어 가능한 증착 기술을 이룩했으며, 가장 인기있는 R&D 스퍼터링 시스템 구성이 되었습니다. 전 세계적으로 7,500대 이상의 마그네트론을 공급한 AJA의 Sputtering system과 Ion Milling System, Evaporation System, Multi-Technique and Hybrid System을 소개하고자 합니다.


Sputtering System (진공증착장비)

R&D 스케일의 physical vapor deposition (PVD)를 위한 마그네트론 스퍼터링 시스템 (magnetron sputtering system)입니다. 본 시스템은 con-focal 또는 normal incidence, off-axis, glancing angle, "target to substrate orientation"의 combination으로 구성할 수 있습니다.

 

Ion Milling System (이온 밀링 시스템)

기판 쿨링과 SIMS end point detection 기능으로 다양한 크기를 물리적으로 에칭하는 시스템입니다. 최대 22 cm 직경의 RF 이온소스와 DC 이온소스가 가능합니다. 대형 소스를 위한 편리한 슬라이드 레일 액세스.

AJA사의 ATC-IM 이온 밀링 시스템은 특정 요구 사항에 따라 다양한 구성으로 구축되는 다목적 툴입니다. 챔버는 실린더형 또는 박스 스타일, HV 또는 UHV 일 수 있습니다. SIMS end point detection은 AJA의 고유한 SIMS-IS isolation system과 함께 옵션 사항으로, 메인 챔버가 벤트될 때마다 SIMS head/detector를 진공 상태로 유지할 수 있습니다. 

 

Evaporation System (E-Beam 증착 및 열 증착)

AJA International의 ATC-E (E-Beam Evaporation) 시스템과 ATC-T (Thermal Evaporation) 시스템은 R&D 규모의 박막 증착을 위해 설계된 고도로 진화된 HV, UHV 코팅 장비입니다. 본 시스템은 로드 락 (load-lock), 이온 밀링 / 이온 보조 소스, 가열 / 냉각 기판 홀더, QCM 증착 제어 / 컴퓨터 컨트롤, AJA의 고유한 수냉식 300 Amp 열 증착 소스를 특징으로 합니다.

 

Multi-Technique & Hybrid System (멀티 시스템)

ATC-M 시리즈 Multi-Technique System은 싱글 챔버 (하이브리드 시스템) 또는 멀티 챔버 (멀티 챔버 시스템)에서 다양한 박막 증착 (thin film deposition)과 이온 밀링 (ion milling), 분석 작업을 결합하여 진공상태를 유지하면서 기재 또는 기판 (substrate)의 in-situ 이송을 허용하는 "공정과 공정을 잇는 다목적 장비"입니다. 본 시스템은 HV 또는 UHV로 구성되며, 원통형 또는 박스형, 가공 챔버 스타일로 구축될 수 있습니다.

Magnetron Sputtering, E-Beam Evaporation, Thermal Evaporation, Ion Milling, Ion Beam Deposition, Pulsed Laser Deposition (PVD), Ellipsometry, Rapid Thermal Anneal, Oxygenation and Nitridization, XPS/AUGER/LEED Analysis, MBE, RHEED, MOS, SIMS, RIBE

  • Multi-Chamber Systems - with deposition, milling, evaporation, annealing, PLD, load-lock and analysis in connected chambers.
  • Hybrid Systems - load-locked single chambers with some combination of deposition, milling, evaporation, annealing, PLD and analysis.

문의 주시면 관련 자료를 준비해드리고 적극 상담해드리겠습니다.

감사합니다.

 

㈜연진에스텍

YEONJIN S-Tech Corporation

https://www.yeonjin.com