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Multi-Technique Systems from AJA International, USA



General Information

AJA International ATC-M 시리즈 Multi-Technique System은 싱글 챔버 (하이브리드 시스템) 또는 멀티 챔버 (멀티 챔버 시스템)에서 다양한 박막 증착 (thin film deposition)과 이온 밀링 (ion milling), 분석 작업을 결합하여 진공상태를 유지하면서 기재 또는 기판 (substrate)의 in-situ 이송을 허용하는 공정과 공정을 잇는 다목적 장비입니다.

이들 시스템은 HV 또는 UHV로 구성되며, 원통형 또는 박스형, 가공 챔버 스타일로 구축할 수 있습니다.


Multi-Techniques employed include:

  • Magnetron Sputtering
  • E-Beam Evaporation 
  • Thermal Evaporation
  • Ion Milling
  • Ion Beam Deposition
  • Pulsed Laser Deposition
  • Ellipsometry
  • Rapid Thermal Anneal
  • Oxygenation and Nitridization
  • XPS/AUGER/LEED Analysis
  • MBE
  • RHEED
  • MOS
  • SIMS
  • RIBE