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Laser Micromachining Systems

Industrial laser micromachining tools and research laser micromachining systems

ProbeDrill, Vertical Guide Plate Production

내구성이 뛰어난 Oxford Lasers사의 ProbeDrill은 가이드 플레이트 생산을 위해 특별히 설계된 hardwearing turnkey laser tool입니다.

ProbeDrill은 Oxford Lasers사의 특수 제작 레이저 미세 가공 툴입니다. Vertical probe card 용 guide plate 생산에 사용되는 ProbeDrill은 최신 가공 기술로 최적화되어 매우 엄격한 공차 내에서 최상의 기능을 제공합니다. 많은 프로브 카드 제조사에서 선택한 제품으로, Oxford Lasers사의 ProbeDrill을 소유함으로써 혜택을 누리는 고객이 많습니다. 시스템 섀시는 탁월한 진동 방지 마운트를 갖춘 최고 품질의 화강암 기반으로 구축되어 있어 최적의 공정 조건을 수립할 수 있습니다. 

모든 팁 카드 재료에 최대 20 마이크론 직경의 미세 구멍을 뚫을 수있는 ProbeDrill은 현재와 미래의 생산 요구에 대한 솔루션을 제공합니다.

턴키 ProbeDrill 시스템은 반도체 웨이퍼 테스트를 위한 팁 보드 생산을 위한 것입니다. 직경이 50µm 미만이고 위치 정확도가 5µm 미만인 마이크로 홀을 드릴링 할 수 있습니다. 고급 컴퓨터 제어 및 RS274 G 코드 프로그래밍 언어를 사용하면 단일 디스플레이를 통해 시스템을 관리 할 수 있습니다.

진동 방지 화강암베이스(anti-vibration granite base)에서 최적의 드릴링 정밀도를 얻을 수 있으며 Oxford Lasers의 독점적인 trepanation 시스템은 우수한 홀 직경 형성을 보증합니다. Trephination 시스템은 고객의 특정 요구에 따라 각각 0.05% 해상도로 다양한 최대 홀 사이즈 범위를 제공합니다. 최소 홀 직경은 5µm입니다. 팁이 최대 200mm x 200mm인 카드는 한 번에 가공 할 수 있지만 요청시 더 큰 변위 스테이지(displacement stage)를 사용할 수 있습니다. 통합된 roundness control system은 홀을 평행한면으로 뚫리도록하고 음의 테이퍼(negative taper)를 만들 수도 있습니다. 축내 카메라 시스템의 품질 줌(quality zoom)은 정렬을 돕고 진행중인 프로세스를 시각적으로 확인할 수 있습니다.

ProbeDrill은 옥스포드 레이저스 사의 다른 시스템과 마찬가지로 CADCAM 2.5D, 스캐너, 자동 초점 및 자동 정렬, 빔 프로파일링, 고해상도 off-axis camera, 다양한 척, 높이, 깊이 및 센서 옵션으로 업그레이드 할 수 있습니다. 

 

  • Versatility

  • Modularity

  • Futureproof

 

Built on a top quality granite base

Key Benefits

  • Fine Pitch
  • Range of Hole Shapes: Square, Round, Rectangular, Elliptical etc.
  • High Hole Count: 50,000 Holes
  • Turnkey solution for the production of tipped cards
  • Ideal wavelength for drilling all substrate materials
  • High precision in drilling holes
  • "Tap" and controlled hole geometry
  • 0.05% hole diameter resolution

 

ProbeDrill Specification

LASER TYPE  

  • Diode Pumped Solid State (DPSS)

DIMENSIONS    

  • 2805 W x 1555 D x 2040 H (mm)

PRODUCT WEIGHT RANGE    

  • Fixed 2600kg

 

 

RELATED APPLICATIONS

  • Production of semiconductor test cards
  • Micro-hole drilling in: silicon nitride, alumina, silicon, polyimide or machinable ceramics
  • Drilling round, square or rectangular holes

 

- GUIDE PLATE PRODUCTION FOR VERTICAL PROBE CARDS

Sample guide plate made from silicon nitride
 
Guide plate는 Vetical probe card의 구성 요소입니다. Vertical probe card는 자동화된  테스트 장비 (Automated Test Equipment, ATE)와 테스트 대상 기기 (Device-under-test, DUT) 사이에 있는 테스트 인터페이스입니다. 가이드 플레이트는 DUT 테스트 중에 프로브 각각의 정확한 위치를 확보하도록 프로브가 장착되는 수천 개의 마이크로 홀로 구성됩니다.

 

정밀도는 미세한 피치 가이드 플레이트 (pitch guide plate) 생산의 핵심 요소입니다. 

반도체 제조 기술의 향상으로 인해 테스트 장비 공급 업체에 대한 요구사항이 증가하고 있습니다. 시험 패드의 크기(size)와 분리(separation)가 줄어 드는 중에, 테스트 포인트의 수는 증가하고 있습니다. 가이드 플레이트는 점점 더 좁은 피치를 필요로하여 궁극적으로는 hole size에 영향을 미칩니다.

재현성 또한 필요합니다. 우수하고 견고하며 반복적인 프로세스에서는 양호한 수율을 나타내고 이를 유지하는 데 매우 높은 위치 정확도를 필요로 합니다.

홀 모양이 달라 더 많은 요구사항을 필요로 했습니다. 예를 들어, 일반적으로 MEMS 프로브에 사용되는 정사각형 및 직사각형 홀을 생산할 때 제조업체의 과제는 모서리 반경을 줄이는 것입니다.

Oxford Lasers사는 20여년 동안 프로브 카드 업계의 선두주자로써 가이드 플레이트를 생산해 왔습니다. Oxford Lasers사의 경험과 지식은 기술적 기반의 전반에 걸쳐 최첨단의 발전을 가져 왔습니다.

Square holes laser drilled in silicon nitride
Guide plate samples

 


 

 

 

 

 

 


PROBE DRILL
VERTICAL GUIDE PLATE PRODUCTION TOOL


Durable by design, the ProbeDrill from Oxford Lasers is a hardwearing turnkey laser tool designed specifically for guide plate production.
The ProbeDrill is one of our purpose built laser micromachining tools. Used for the production of guide plates for vertical probe cards, the ProbeDrill is optimised with the latest processing advancements to deliver the finest features within extremely tight tolerances.
As you would expect from us, the system chassis features a top quality granite base with exceptional anti-vibration mounts to ensure optimum processing conditions. 
The tool of choice for many probe card manufacturers we have a wealth of customers who reap the benefits of owning and Oxford Lasers ProbeDrill.

With the ability to drill micro holes up to 20 microns in diameter in all tip card materials, the ProbeDrill is the answer to current and future production needs.
The turnkey ProbeDrill system is intended for the production of tip boards for testing semiconductor wafers. It is capable of drilling micro-holes with diameters below 50µm and positioning accuracy of less than 5µm. Advanced computer control and RS274 G-code programming language allow the system to be managed through a single display.
Optimal drilling precision is achieved thanks to an anti-vibration granite base, while Oxford Lasers' proprietary trepanation system guarantees good hole circularity. The trephination system offers a range of maximum hole sizes, depending on your specific needs, each with 0.05% resolution. The minimum hole diameter is 5µm. Cards with tips up to 200mm x 200mm can be machined in one pass, however larger displacement stages are available on request. An integrated roundness control system ensures that holes are drilled with parallel sides and even allows negative tapers to be made. A quality zoom on the in-axis camera system helps alignment and allows visualization of the process in progress.
Like our other systems, the ProbeDrill can be upgraded with CADCAM 2.5D, scanners, auto-focus and auto-alignment, beam profiling, high-resolution off-axis cameras, various chuck and sensor options. height / depth.


APPLICATION OF GUIDE PLATE PRODUCTION FOR VERTICAL PROBE CARDS
Guide plates are a component of vertical probe cards. A vertical probe card is a test interface which sits between automated test equipment (ATE) and a device-under-test (DUT). The guide plate consists of thousands of micro holes through which probes are fitted to ensure accurate location of each probe during testing of the DUT.

Precision is a key factor in the production of fine pitch guide plates.
Technological advances in semiconductor manufacturing are placing demands on suppliers of test equipment. The number of test points are increasing whilst the size and separation of the test pads is decreasing. Guide plates require an increasingly tighter pitch, which in turn affects hole size.
Additional challenges also include repeatability. A good robust repeatable process requires a very high positional accuracy to produce and maintain good yield.
Different hole shapes have brought about more challenges. For example, in the production of square and rectangular holes (as commonly used for MEMS probes) the challenge to manufacturers is to reduce corner radii.

Oxford Lasers have been producing guide plates for market leaders in the probe card industry for over 18 years. Our experience and knowledge have resulted in cutting edge developments throughout the technological curve.


 

Oxford Lasers Ltd., UK
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