Single Source Desktop PVD Coater
HEX-Mini는 박막 생성을 위한 Korvus Technology의 소형 입문용 PVD시스템입니다. 광학 코팅, SEM/TEM용 sample 및 electric contact 등에 활용됩니다. 탁상형인 HEX-Mini는 DC 2" 스퍼터링 소스 또는 thermal evaporation 소스로 구성될 수 있습니다. 사용자의 재료, 원하는 수율, 균일성 및 샘플 감도에 따라 증착 방식이 선택됩니다.
빠른 설정을 위한 "플러그 앤 플레이" 증착 시스템인 HEX-Mini는 재료 과학과 물리학 및 현미경 연구 시 성능 저하 없는 소형의 사용자 친화적인 시스템으로 고품질의 코팅을 구현합니다.
HEX Mini S
Turbo pumped DC Sputtering
- Maximum Sample Size Diameter: 2" (50mm)
- Source: DC Sputtering
- Magnetron Sputter Size (Diameter): 2"
- Power Supply: 208W, 650V / 0.32A
- Base Pressure: <5×10-6 mbar
- Chamber Volume 0.8 L
HEX Mini T
Turbo pumped Thermal Evaporation
- Maximum Sample Size Diameter: 2" (50mm)
- Source: TES Thermal Evaporator
- Power Supply: 720W, 72A / 10V
- Base Pressure: <5×10-6 mbar*
- Chamber Volume: 0.8 L
HEX Mini FAQs
What are the applications of the HEX Mini?
HEX Mini 응용사례:
- SEM sample preparation (Sputtering & Carbon Evaporation)
- TEM sample preparation (Carbon Evaporation)
- X-Ray Microanalysis sample preparation (Carbon Evaporation)
- High resolution sample preparation
- Semiconductors
- Geology
- Forensics
- Material science
- Medicine
- Life science
What is the difference between the Mini S and Mini T?
두 모델의 유일한 차이점으로 하나는 DC 마그네트론 소스를 사용하고, 다른 하나는 thermal evaporation 소스를 사용한합니다. 다른 모든 면에서는 두 모델이 완전히 동일합니다.
Can the HEX Mini be used for SEM coating?
HEX Mini는 SEM 코팅을 포함한 모든 샘플링에 사용할 수 있으며 고품질 필름을 제작할 수 있습니다. 그럼에도 불구하고 HEX Mini는 훨씬 높은 사양을 갖추고 있어 SEM 전용 코팅 뿐만 아니라, 더 까다로운 박막 증착용으로도 사용할 수 있습니다.
What is the key difference between the benchtop HEX and the HEX Mini?
HEX 시리즈는 벤치탑 PVD 시스템이지만 Mini보다 더 큰 전자 랙을 갖추고 있습니다. HEX Mini는 모든 것이 단일 프레임과 챔버에 통합되어 있습니다. HEX Mini는 최대 5cm(2")까지의 샘플의 증착에 사용할 수 있으며 단일 소스만 사용합니다. HEX는 최대 3개의 소스와 QCM을 장착할 수 있습니다.
